高精度电涡流传感器电涡流传感器的工作原理
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高精度电涡流传感器的工作原理主要基于电磁感应的原理。系统中的前置器中，高频振荡电流通过延伸电缆输送至探头线圈，线圈内部产生交变磁场。当被测金属体靠近这个磁场时，金属表面会产生感应电流，同时在电涡流场中，会生成一个与头部线圈方向相反的交变磁场。这个反作用会改变线圈的高频电流幅度和相位，具体表现为线圈的有效阻抗，其变化受多种参数影响：金属体的磁导率、电导率、线圈的几何形状、尺寸、电流频率以及线圈到金属表面的距离。
通常情况下，假设金属导体是均匀且性能线性和各向同性的，那么线圈和金属系统的物理特性可以通过电导率(б)、磁导率(ξ)、尺寸因子(τ)、头部线圈与金属表面的距离(D)、电流强度(I)和频率(ω)来描述。特征阻抗Z可以通过函数Z=F(τ, ξ, б, D, I, ω)来表示。在某些参数保持不变的条件下，线圈特征阻抗Z可以简化为距离D的单值函数，尽管整体上是非线性的，形状类似"S"型曲线，但我们可以通过选取其线性区间进行近似处理。
经过前置器电子线路的处理，线圈阻抗Z的变化，即头部线圈与金属导体距离D的变化，会被转化为电压或电流的变化。传感器的输出信号大小直接与探头与被测物体表面的间距相关，因此，高精度电涡流传感器利用这一原理，能够精确测量金属物体的位移和振动等参数。
