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压力传感器作为广泛应用于医疗、自动化、液压和航空航天等领域的关键元件,其选择主要基于测量原理。目前广泛应用的MEMS压力传感器采用压阻或电容技术。
压阻技术原理涉及将四个电阻器置于硅隔膜上,通过惠斯通电桥电路将电阻变化转化为输出电压,以测量施加在隔膜上的压力。由于其广泛和低成本,压阻压力传感器在消费电子、汽车工业和家电领域应用广泛。
电容技术则利用两个平行且电气隔离的导电板,底板固定,顶板对压力变化敏感。当施加压力时,顶板弯曲,导致电容变化,进而转化为电子信号进行读取和处理。电容压力传感器适用于对精度、可靠性和安全性要求高的应用。
在技术应用上,MEMS电容式压力传感器因具有类似标准被动元件和设计制造差异的优势,常用于对性能有极高要求的场合。