（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201910099456.0 （22）申请日 2019.01.31
（71）申请人 长江存储科技有限责任公司
地址 430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
（10）申请公布号 CN109633209A
（43）申请公布日 2019.04.16
（72）发明人 魏磊
（74）专利代理机构 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 董琳
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
测试样品及其制备方法
（57）摘要
本发明涉及一种测试样品及其制备方法，
所述测试样品的制备方法包括：提供一包含目标区域的样品，所述样品由待测半导体样品研磨而成，具有单片晶圆厚度，所述目标区域的待测截面垂直于所述样品的厚度方向；在所述样品的厚度方向上的两侧侧壁粘附陪片晶圆，所述陪片晶圆的表面与所述样品的表面齐平；对所述陪片晶圆和所述样品表面整体进行研磨，直至暴露出所述目标区域的待测截面，研磨后的样品和陪片晶
圆整体作为测试样品。上述方法能够提高测试样品的准确性。
法律状态
法律状态公告日
2019-04-16 2019-04-16 2019-05-10
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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公开 公开
实质审查的生效
权利要求说明书
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说明书
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