专利名称：Microstructure, process for manufacturing
thereof and devices incorporating the same
发明人：Yagi, Takayuki, c/o Canon K.K.,Akaike,
Masatake, c/o Canon K.K.
申请号：EP95300521.2申请日：19950127公开号：EP0665590A3公开日：19960207
专利附图：
摘要：Array
申请人：CANON KABUSHIKI KAISHA
地址：30-2, 3-chome, Shimomaruko, Ohta-ku Tokyo JP
国籍：JP
代理机构：Beresford, Keith Denis Lewis
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