专利名称：微机电系统（MEMS）可变电容器装置及相关方法专利类型：发明专利
发明人：亚瑟·S·莫里斯,达娜·德雷乌斯,诺里托·巴伊坦申请号：CN201810168509.5申请日：20130920公开号：CN108281286A公开日：20180713
摘要：用于微机电系统(MEMS)可调电容器的系统，设备和方法，所述电容器包括附着到基底的固定驱动电极，附着到所述基底的固定电容电极；以及定位在所述基底上方并相对于所述固定驱动电极和所述固定电容电极移动的活动部件。所述活动部件包括：定位在所述固定驱动电极上方的可动驱动电极和定位在所述固定电容电极上方的可动电容电极。所述可动电容电极的至少一部分以第一间隙与所述固定电容电极间隔开，以及所述可动驱动电极以大于所述第一间隙的第二间隙与所述固定驱动电极间隔开。
申请人：维斯普瑞公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：北京金信知识产权代理有限公司
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