专利名称：一种新型硅棒上下棒工装专利类型：发明专利发明人：张璐,张秀涛,宫云庆申请号：CN201610912866.9申请日：20161020公开号：CN106426581A公开日：20170222
摘要：本发明提供了一种新型硅棒上下棒工装，包括固定门架、与固定门架活动连接的活动门架，与活动门架活动连接的吊臂组件，所述吊臂组件包括具有横梁和纵梁的吊臂，所述吊臂横梁下面设有滑轨，还包括托架组件，所述托架组件包括托架、滚轮安装板、滚轮、支撑导轨，所述滚轮安装板固定连接在托架两相对边框上，所述滚轮固定连接在滚轮安装板上，所述滚轮与吊臂横梁下面的滑轨相适配，所述支撑导轨也固定连接在托架两相对边框上。托架组件通过滚轮在吊臂的滑轨上滚动实现托架组件在滑轨上的移动，改变传统上下棒工装滑动摩擦为滚动摩擦，减少摩擦阻力，方便夹持工件的顺畅推拉，从而确保硅片质量。
申请人：青岛高测科技股份有限公司
地址：266114 山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
国籍：CN
代理机构：北京金硕果知识产权代理事务所
代理人：张玫
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