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抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长装置[发明专利]

2022-07-26 来源:年旅网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长装置专利类型:发明专利发明人:匡人渡边申请号:CN96120692.6申请日:19961121公开号:CN1160091A公开日:19970924

摘要:在一种丘克拉斯基单晶硅生长装置中,其在生长炉(1)中通过提线(7)上拉晶种(Z)来生长硅单晶(Y),一个磁环(12)被安装在硅单晶上,一个电磁体(8)被固定于生长炉上以便上拉磁环。

申请人:日本电气株式会社

地址:日本国东京都

国籍:JP

代理机构:中科专利代理有限责任公司

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