青岛高新区：半导体产业“链”式生长

作者：周伟

来源：《发明与创新（大科技）》 2021年第6期

文/周伟

近日，青岛高新区迎来了4个半导体产业项目，光学加工及半导体设备研发制造中心项目、第三代半导体化合物晶片衬底项目等先后落户，进一步扩充了青岛高新区半导体产业储备资源。

半导体产业是现代IT产业的基础，是支撑当前经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。作为青岛高新区新一代信息技术产业的细分领域，半导体产业一直在扩大规模，芯片设计、材料加工、装备制造、应用开发……目前，已经有20多家半导体产业上下游企业在此集聚，产业链已经初具规模。

补齐产业链短板

光学加工及半导体设备研发制造中心项目将主要发力光学加工设备领域、半导体设备领域、软件业务等板块，建成后将在青岛高新区运营光学加工设备业务、半导体设备业务和软件业务，并计划将原本分散在各地的相关公司设备都集中在高新区进行整合优化，重新梳理生产加工业务。

第三代半导体化合物晶片衬底项目以打造第三代化合物半导体衬底产业集群为总体目标，进行研发、生产、管理等硬件设施的建设配套。项目建成后，将实现年产33万片第三代化合物半导体衬底晶圆的产业线，弥补国内先进第三代半导体材料技术的短板，促进企业向高技术半导体材料转型升级，有效提升企业技术创新能力及自主核心竞争力，可为下游生产企业提供高质量的核心基础材料，对进一步开拓国内、国际半导体及先进集成电路市场，以及推动整体产业链技术进步具有积极意义。

“半导体产业的发展有利于突破‘卡脖子’问题，高新区对半导体产业重点支持。”青岛高新区招商部新一代信息技术产业事业部负责人说，“此次引进半导体项目的落地，将有效带动高新区半导体产业快速发展，加快区域半导体产业结构转型升级，强化相关产业链上下游集群效应，对推动青岛高新区、青岛市乃至山东省在先进半导体材料行业的技术进步具有示范效应。”

产业链环环相扣

青岛高新区招商部新一代信息技术产业事业部工作人员介绍，半导体产品生产流程十分复杂，大致可分为设计、制造、封装、测试等环节。而青岛高新区的半导体产业大致可分为设备类、材料类、设计类、制造类等。

在设备类的企业中，埃地沃兹真空泵制造（青岛）有限公司、青岛高测科技股份有限公司、青岛赛瑞达电子科技有限公司是代表企业。其中，埃地沃兹是世界500强企业阿特拉斯·科普柯集团旗下的品牌企业，在半导体真空设备干泵全球市场占有率连续多年超过50%，成为该领域世界第一品牌。埃地沃兹真空泵制造（青岛）有限公司生产的真空泵可用于半导体制造、平板显示器制造、锂电池生产、制药、冶金以及空气处理等多种行业，真空泵年生产能力约2万台套。

埃地沃兹真空泵制造（青岛）有限公司相关负责人介绍，真空泵市场在持续膨胀中，尤其是中国市场已进入快速增长期。公司瞄准中国及亚洲市场，近年来业绩高速增长，并预计在未来几年将继续增长。

共抓产业链，贯通上下游。青岛嘉星晶电科技股份有限公司是一家专注从事半导体材料研发、半导体设备生产、半导体技术服务的国家高新技术企业，历经多年发展，已获得国家“双创”示范基地及各类省市级项目30余项。

“我们生产的蓝宝石衬底晶片被广泛应用于半导体及微电子行业、照明行业、手机电子消费品等领域，在蓝宝石衬底领域约占全国10%的市场份额。”青岛嘉星晶电科技股份有限公司董事长肖迪说，在蓝宝石产业链中，公司主攻晶片加工环节，项目二期致力于打造半导体材料加工产业链、精密装备制造集群和创新创业公共服务平台，将于2021年下半年投入使用；三期围绕第三代化合物半导体衬底的研发、生产、技术服务等硬件设施进行建设配套，预计2023年年底前建成投产。

传感器素有“电子五官”之称，是一切数据信息获取的功能器件。青岛智腾微电子有限公司专注于高端传感器和厚膜混合集成电路的设计研发及生产制造，重点从事加速度传感器、定向传感器、惯性导航测量设备等产品生产研制。此外，青岛高新区企业还加强自主研发，申威科技国产芯片和小型超级计算机已多次成功应用于国家重大科技工程项目中。

营造良好的政策环境

半导体上下游企业也被“链”在了微信群里。青岛高新区招商部新一代信息技术产业事业部负责人表示，他的手机平日里总会响个不停，这些信息均来自该园区半导体企业沟通交流群。这个群有20多家半导体企业加入。他举例说，这个微信群有着大能量。比如当群里有企业问“青岛市有芯片相关工艺所需的设备吗?”仅过了几秒钟，群里便有一家企业回应“我司有相关设备。”而这种交流，在群里已是常态。

“高新区半导体产业可享受到设备、流片补贴，以及相关人才政策、便利审批服务、企业网格员服务等。”青岛高新区招商部新一代信息技术产业事业部负责人说，“下一步，将从芯片设计、半导体设备类、封装测试、二代和三代半导体材料生产及加工类等半导体产业细分领域入手，继续扩充半导体产业储备资源。”

具体来看，将重点引进一批家用电器、物联网、消费电子、工业互联网等领域且与青岛企业有合作基础的设计公司到高新区落地；依靠青岛临近日韩的优势，积极吸引日韩相关半导体设备类企业落户；引进1~2家山东省及青岛市缺乏的中大型封测厂或有自建封测厂需求的设计企业，补足产业生态；吸引3~5家国内外知名的化合物半导体厂商及已有企业的上下游企业落地，形成完整的化合物半导体产业链。（据《青岛日报》）