专利名称：组合两个衬底的方法专利类型：发明专利
发明人：D·朗德吕,C·德拉热,F·富尔内尔,E·贝什申请号：CN201510830557.2申请日：20151125公开号：CN105655243A公开日：20160608
摘要：本发明涉及一种组合两个衬底的方法。一种通过分子附着力组合两个衬底(1，2)的方法包括：第一步骤(a)，将第一衬底(1)和第二衬底(2)紧密接触以形成具有组合界面(4)的组件(3)；第二步骤(b)，将组件(3)的附着度增强至超过附着阈值的，在所述阈值，水不再能够沿着组合界面进行扩散。根据本发明，所述方法还包括：在露点低于-10℃的处理气氛下对第一衬底(1)和第二衬底(2)进行无水处理的步骤(c)；以及从无水处理步骤(c)直至第二步骤(b)结束，对第一衬底(1)和第二衬底(2)所暴露于的工作气氛的露点进行控制，从而限制或避免键合缺陷在组合界面处的出现。
申请人：SOITEC公司,原子能和能源替代品委员会
地址：法国贝尔尼
国籍：FR
代理机构：北京戈程知识产权代理有限公司
代理人：程伟
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